@phdthesis{Beetz2014,
  author      = {Johannes Beetz},
  title       = {Herstellung und Charakterisierung von Halbleiterbauelementen f{\"u}r die integrierte Quantenphotonik},
  type        = {doctoralthesis},
  school      = {Universit{\"a}t W{\"u}rzburg},
  year        = {2014},
}