@phdthesis{Back2014,
  author    = {Back, Franziska},
  title     = {Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien},
  url       = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:20-opus-107713},
  school      = {Universit{\"a}t W{\"u}rzburg},
  year      = {2014},
  abstract  = {Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung von SiO2-basierten nano- und mikroskalig strukturierten Schichten, welche eine Temperaturstabilit{\"a}t > 500 °C sowie eine Strukturtreue > 90 \% aufzeigen. Diese wurden unter Verwendung von hybridpolymeren, partikelmodifizierten Sol-Gel-Vorstufen via UV-basierter Nanoimprintlithographie (UV-NIL) hergestellt. Der Einfluss chemischer und verfahrenstechnischer Syntheseparameter auf die anorganische Netzwerkbildung der fl{\"u}ssigen Vorstufe (hybridpolymerer Binder), die Polymerisation und Verdichtung der hybridpolymeren Sol-Gel-Schichten w{\"a}hrend der thermischen H{\"a}rtung sowie deren Strukturierung via UV-NIL wurden im Detail untersucht und die erhaltenen Zusammenh{\"a}nge mit den resultierenden Materialeigenschaften korreliert. Dabei dienten die Kenntnisse hinsichtlich des Schrumpf- und Verdichtungsverhaltens von planaren Schichten als Basis f{\"u}r die daraus hergestellten, strukturierten Schichten.},
  subject      = {Sol-Gel-Verfahren},
  language  = {de}
}