@phdthesis{Frueke2005,
  author    = {Fr{\"u}ke, Rolf},
  title     = {Entwicklung eines Rastermikroskopes f{\"u}r den Einsatz an Laborquellen im EUV Spektralbereich},
  url       = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:20-opus-15521},
  school      = {Universit{\"a}t W{\"u}rzburg},
  year      = {2005},
  abstract  = {Im Rahmen dieser Arbeit wird der Aufbau eines kompakten, mobilen Labor-Rastermikroskopes beschrieben. Das Mikroskop ist konzipiert f{\"u}r den Einsatz mit Strahlung aus dem extrem ultravioletten Spektrum und konnte bei 13 und 17 nm Wellenl{\"a}nge erfolgreich getestet werden. Der Anwendungsbereich l{\"a}ßt sich ohne Probleme auf weiche R{\"o}ntgenstrahlung ausdehnen, um zum Beispiel den f{\"u}r biologische Untersuchungen interessanten Bereich des Wasserfensters zwischen 2,3 und 4,4 nm Wellenl{\"a}nge zu erschließen. Als Laborquelle f{\"u}r Strahlung des extrem ultravioletten Spektralbereiches kommen beispielsweise laserinduzierte Plasmen in Frage. Diese sind heute gut verstanden und stellen Quellen f{\"u}r kontinuierliche und diskrete Strahlung bis in den R{\"o}ntgenbereich dar. Ihre zeitliche Stabilit{\"a}t und die Konversionseffizienz ist ausreichend, so daß laserinduzierte Plasmen gute Voraussetzungen f{\"u}r abbildende Anwendungen wie die Mikroskopie bieten. Auf Grund ihres Erzeugungsprozesses mit kurzen Laserpulsen ist auch die Pulsl{\"a}nge der erzeugten Hohe-Harmonische Strahlung sehr kurz und liegt im Bereich einiger Femtosekunden bis mehrere Hundert Attosekunden. Zus{\"a}tzlich wird die erzeugte Hohe-Harmonische Strahlung in einem kleinen {\"O}ffnungswinkel abgestrahlt, so daß sie nahezu vollst{\"a}ndig f{\"u}r ein Experiment genutzt werden kann. Mit dieser neuen Technik steht eine weitere Laborquelle f{\"u}r extrem ultraviolette Strahlung zur Verf{\"u}gung. Zus{\"a}tzlich lassen sich dynamische Prozesse auf kurzen Zeitskalen detektieren und analysieren. Damit bilden Quellen f{\"u}r Hohe-Harmonische Strahlung eine gute Erg{\"a}nzung zu laserinduzierten Plasmen. Beide Quelltypen bieten die M{\"o}glichkeit, rastermikroskopische Experimente von Großeinrichtungen wie Elektronenspeicherringen in das Labor zu verlagern. Untersuchungsverfahren wie Spektromikroskopie, Photoelektronen- oder R{\"o}ntgenfluoreszenzspektroskopie k{\"o}nnen {\"u}bertragen und um die Zeitaufl{\"o}sung erg{\"a}nzt werden. Das im Rahmen dieser Arbeit aufgebaute Rastermikroskop wurde an beiden Laborquellen erfolgreich getestet und betrieben. Hierf{\"u}r war es zun{\"a}chst notwendig, die verschiedenen Quellen zu charakterisieren und die optimalen Bedingungen f{\"u}r eine hohe, stabile Photonenrate zu bestimmen. Mit optimierten Quelleigenschaften wurden mit dem Rastermikroskop verschiedene Testobjekte vergr{\"o}ßert abgebildet. Dabei wurde mit einer Gitterstruktur eine Aufl{\"o}sung von 500 nm nachgewiesen.},
  subject      = {Rastermikroskop},
  language  = {de}
}