@phdthesis{Schaefer2010,
  author    = {Sch{\"a}fer, David},
  title     = {Entwicklung eines Transmissionsmikroskops f{\"u}r weiche R{\"o}ntgenstrahlung und die Anwendung an Laborquellen},
  url       = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:20-opus-54383},
  school      = {Universit{\"a}t W{\"u}rzburg},
  year      = {2010},
  abstract  = {Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung und Konstruktion eines mobilen Transmissionsmikroskops f{\"u}r weiche R{\"o}ntgenstrahlung. Dieses ist speziell f{\"u}r den Einsatz an Laborquellen konzipiert und erlaubt durch einen modularen Aufbau auch den Betrieb an Synchrotroneinrichtungen. Das Mikroskop basiert auf einem abbildenden System mit einer Zonenplatte als Objektiv und einer CCD-Kamera als Detektor. Das Anwendungsgebiet erstreckt sich {\"u}ber den spektralen Bereich des Wasserfensters zwischen 2,3 nm und 4,4 nm Wellenl{\"a}nge bis hin zu extrem ultravioletter Strahlung (Wellenl{\"a}nge < 20 nm). Dabei k{\"o}nnen vakuumtaugliche Proben, wie beispielsweise lithographische Testobjekte, Kieselalgen oder chemisch fixierte biologische Zellen untersucht werden. Bei den verwendeten Laborquellen handelt es sich zum einen um ein laserinduziertes Plasma mit einem fl{\"u}ssigen Stickstoffstrahl als Target und zum anderen um eine elektrische Stickstoffgas-Entladungsquelle mit Hohlkathoden-Elektrodengeometrie. Aufgrund der stark unterschiedlichen Quellkonzepte m{\"u}ssen die Quellen f{\"u}r die Entwicklung entsprechender Kondensorkonzepte in Bezug auf ihre spektrale Strahldichte und Brillanz charakterisiert werden. Daher wurden neben Messungen mit einem absolut kalibrierten Spektrographen auch die Quellgr{\"o}ßen und Linienbreiten der wasserstoff- und helium{\"a}hnlichen Emissionslinien von Stickstoff bei N-Ly-alpha = 2,48 nm und N-He-alpha = 2,88 nm untersucht. F{\"u}r eine gute Bildqualit{\"a}t sind neben einer gleichm{\"a}ßigen, monochromatischen Ausleuchtung die Intensit{\"a}t in der Objektebene und eine Anpassung der numerischen Apertur von Kondensor und abbildender Optik wichtige Parameter. Daher wird an der laserinduzierten Plasmaquelle eine Zonenplatte als Kondensor verwendet. Diese bildet die Quelle 1:1 in die Objektebene ab und wirkt gleichzeitig als Linearmonochromator. Aufgrund der wellenl{\"a}ngenabh{\"a}ngigen Brennweite bietet sie zudem die M{\"o}glichkeit Spektromikroskopie zu betreiben. Da die emittierende Quellfl{\"a}che der Entladungsquelle etwa vier Gr{\"o}ßenordnungen gr{\"o}ßer ist als die der laserinduzierten Plasmaquelle, wird an der Entladungsquelle ein mit Gold bedampfter, rotationssymmetrischer Ellipsoid f{\"u}r die Objektbeleuchtung verwendet. Angesichts einer geringeren Plasmatemperatur der Entladungsquelle und der damit verbundenen schwachen Emission der wasserstoff{\"a}hnlichen Linien kann die He-alpha-Linie mit Hilfe eines Titan-Filters freigestellt werden. Anhand von Testobjekten und biologischen Proben wurde die Leistungsf{\"a}higkeit der beiden Konzepte gegen{\"u}bergestellt. W{\"a}hrend die r{\"a}umliche Aufl{\"o}sung nach dem Rayleigh-Kriterium an der laserinduzierten Plasmaquelle durch Vibrationen im Aufbau auf ca. 70 nm begrenzt ist, konnte an der elektrischen Entladungsquelle eine nahezu beugungsbegrenzte Aufl{\"o}sung von 40 nm nachgewiesen werden. Die Belichtungszeiten bei 1000-facher Vergr{\"o}ßerung liegen bei der laserinduzierten Quelle je nach Objekt zwischen 10 und 30 Minuten. Durch die zehnfach h{\"o}here Intensit{\"a}t in der Objektebene ist die Belichtungszeit an der elektrischen Entladungsquelle entsprechend k{\"u}rzer. Neben diesen Ergebnissen wird ein neues Anwendungsgebiet im Bereich organischer Halbleiter vorgestellt und erste Experimente pr{\"a}sentiert.},
  subject      = {R{\"o}ntgenmikroskop},
  language  = {de}
}