Improved conductivity-measurement of semiconductor epitaxial layers by means of the contactless microwave method
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- Measurements and calculations of the scattering-characteristics of stratified lossy dielectric blocks completely filling a waveguide cross section are presented. The method is used for contactless conductivity measurements of MBE-grown II-VI semiconductor layers.
| Autor(en): | P. Boege, H. Schäfer, Xu Shanjia, Wu Xinzhang, S. Einfeldt, Charles R. Becker, D. Hommel, R. Geick |
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| URN: | urn:nbn:de:bvb:20-opus-37763 |
| Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
| Institute der Universität: | Fakultät für Physik und Astronomie / Physikalisches Institut |
| Sprache der Veröffentlichung: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 1994 |
| Originalveröffentlichung / Quelle: | In: Millimeter and Submillimeter Waves and Applications : proceedings of the International Conference on Millimeter and Submillimeter Waves and Applications, 10 - 14 January 1994, San Diego, California / Mohammed N. Afsar. - Bellingham u.a. : SPIE, 1994. - ISBN: 0-8194-1515-4. - (SPIE:2211) 649-658 |
| Allgemeine fachliche Zuordnung (DDC-Klassifikation): | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
| Normierte Schlagworte (GND): | Millimeterwelle; Kongreß; San Diego <Calif.; 1994> |
| Datum der Freischaltung: | 22.09.2009 |